Elettrodi: primi risultati

Oggi ho terminato la fabbricazione dei primi 6 wafer di elettrodi.
Ci sono due diverse versioni del processo.
Per quanto riguarda l'ultimo step di fabbricazione (apertura dell'isolante), ci sono 4 wafer etchati a secco e 2 tramite immersione in HF.
I test dei prossimi giorni permetteranno di confrontare i risultati.